X射線熒光光譜儀可檢測的元素范圍廣泛，通常涵蓋從鈹（Be，原子序數4）到鈾（U，原子序數92）之間的元素。具體如下：

1、元素范圍：

從鈹（Be）到鈾（U）：大多數X射線熒光光譜儀能夠檢測元素周期表中從鈹（Be）到鈾（U）的元素。這包括了許多常見的金屬、非金屬和稀土元素。

輕元素檢測：對于超輕元素（如碳（C）、氮（N）、氧（O）等），檢測難度較大，需要使用波長色散型X射線熒光光譜儀（WDXRF）配合特殊分光晶體，以提高檢測靈敏度。

2、檢測濃度范圍：

從痕量到常量：X射線熒光光譜儀能夠檢測的元素濃度范圍廣泛，通常從百萬分之一（ppm）級別到百%的含量。

3、樣品形態：

多樣化樣品：X射線熒光光譜儀適用于多種樣品形態，包括固體、粉末、液體、薄膜等。對于不同形態的樣品，可能需要適當的制樣方法，如壓片、熔融等。

4、應用領域：

多行業應用：由于其廣泛的元素檢測范圍和快速的檢測速度，X射線熒光光譜儀在冶金、地質、環保、建材、考古、RoHS檢測等領域有著廣泛的應用。

5、技術限制：

超輕元素和氣體元素：對于氫（H）、氦（He）、鋰（Li）等超輕元素以及惰性氣體元素（如氖（Ne）、氬（Ar）等），X射線熒光光譜儀的檢測能力有限或無法檢測。